项目描述:
北京大学东莞光电研究院搭建的一套GaN单晶衬底制备的HVPE外延设备，
需要的控制系统包括：1.压力控制系统；2.温度控制系统；3.监控报警系统；4.曲线采集/历史曲线分析；5. 数据导入/导出/存储。
逸维产品包括半导体、汽车新能源、生物医药、环保与3C生产线控制系统。
技术要求与难点
4温区独立控温
18路质量流量计控制
温度控制要求：升降温要稳定，在设定的时间内达到设定温度；温度波动需要<2度；恒温控制需要在<0.5度
压力控制要求：腔内压力控制精度要<1torr，需要带有自动保护功能。
流量计控制：具有实时数据巡检功能，流量计开启顺序可自定义设定功能。
逸维产品包括半导体、汽车新能源、生物医药、环保与3C生产线控制系统。
专项定制
逸维产品包括半导体、汽车新能源、生物医药、环保与3C生产线控制系统。
